[发明专利]生化传感器与其制作方法在审
| 申请号： | 201711244390.7 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108318533A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 殷华湘;张青竹;张兆浩;徐忍忍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;谢湘宁 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种生化传感器与其制作方法。该生化传感器包括：衬底，具有导电表面以及与导电表面相对的绝缘表面；导电结构，设置在导电表面上，导电结构包括沿远离导电表面依次设置的多个并联的纳米线结构，纳米线结构包括纳米线，任意相邻的纳米线间隔设置；两个电极，设置在导电结构的远离衬底的表面上，两个电极分别与各纳米线的两端电连接；敏感材料，设置在各纳米线上，且各纳米线上的敏感材料相互隔离设置。该生化传感器包括纳米线的堆叠三维结构，且在各纳米线结构上设置敏感材料，增大了待测物质与敏感材料的接触面积，进而提高了传感器的响应度以及灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米线 生化传感器 导电表面 敏感材料 纳米线结构 导电结构 电极 衬底 隔离设置 间隔设置 绝缘表面 三维结构 依次设置 电连接 灵敏度 响应度 传感器 并联 堆叠 制作 申请 | ||
【主权项】：
1.一种生化传感器，其特征在于，所述生化传感器包括：衬底(1)，具有导电表面(10)以及与所述导电表面(10)相对的绝缘表面；导电结构，设置在所述导电表面(10)上，所述导电结构包括沿远离所述导电表面(10)依次设置的多个并联的纳米线结构(3)，各所述纳米线结构(3)包括纳米线(32)，任意相邻的所述纳米线(32)间隔设置；两个电极(4)，设置在所述导电结构的远离所述衬底(1)的表面上，且两个所述电极(4)分别与各所述纳米线(32)的两端电连接；以及敏感材料(5)，设置在各所述纳米线(32)上，且各所述纳米线(32)上的所述敏感材料(5)相互隔离设置。
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