[发明专利]一种静电吸盘装置及其温控方法

摘要

本发明公开一种静电吸盘装置及其温控方法。静电吸盘装置，包括，静电吸盘，设置于工艺腔室内；冷源供应管道，设置在静电吸盘装置之基体内，之冷却端导向晶圆背部，之供冷端与外界冷却气体源连通；压力控制单元，用于控制导入晶圆背部的冷源之工作压力；温度控制单元，设置在冷源供应管道上，用以控制冷源供应管道之冷却端温度；排气装置，与外界冷却气体源相连通。本发明通过温度控制单元对导入晶圆之背面的冷却端温度进行控制，不仅能够有效解决工艺反应生成物凝结温度较低时，在静电吸盘装置密封边缘流场出口处形成粘附并导致成为污染源，而且可增加工艺选择方案和工艺配方窗口，减少晶圆缺陷，延长腔体维护周期，增加车间产能。

主权项

一种静电吸盘装置，其特征在于，所述静电吸盘装置，包括，静电吸盘，设置于工艺腔室内，并用于吸附待工艺处理之晶圆；冷源供应管道，设置在所述静电吸盘装置之基体内，所述冷源供应管道之冷却端导向待工艺处理之晶圆的背部，并用于冷却待工艺处理之晶圆，所述冷源供应管道之供冷端与外界冷却气体源相连通；压力控制单元，设置在冷源供应管道上，用于控制通过所述冷源供应管道将所述外界冷却气体源导入待工艺处理之晶圆背部的冷源之工作压力；温度控制单元，设置在冷源供应管道上，并通过所述压力控制单元与所述外界冷却气体源连接，用以控制所述冷源供应管道之冷却端的温度；排气装置，通过所述压力控制单元与所述外界冷却气体源相连通。