[发明专利]表面力场分布的探测装置、探测系统及探测方法在审
| 申请号： | 201711241141.2 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856427A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 师帅;郭丹;谭新峰;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 孙岩 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面力场分布的探测装置，包括：压电陶瓷、悬臂梁、针尖及激励激光器。其中，压电陶瓷与悬臂梁连接，针尖设置于悬臂梁远离压电陶瓷的一端，压电陶瓷用于接收电信号，在电信号激励下进行纵向挠曲振动，并传递纵向挠曲振动至悬臂梁。激励激光器发射第一激光与第二激光照射在悬臂梁上，使悬臂梁进行横向扭转振动。悬臂梁传递振动到针尖，使针尖进行横向与纵向的合振动。上述探测装置，压电陶瓷接收电信号进行纵向挠曲振动并传递到针尖上，第一激光与第二激光使针尖可进行横向扭转振动，从而实现了针尖的横向和纵向的合振动，可以非接触地同时测得横向和纵向相互作用力场。本发明还公开了一种表面力场分布的探测系统及探测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 针尖 压电陶瓷 探测装置 纵向挠曲 表面力 场分布 激励激光器 接收电信号 激光 扭转振动 探测系统 探测 电信号激励 传递振动 激光照射 作用力场 非接触 传递 发射 | ||
【主权项】：
1.一种表面力场分布的探测装置，其特征在于，所述表面力场探测装置包括压电陶瓷(102)、悬臂梁(104)、针尖(106)及激励激光器(108)，所述压电陶瓷(102)与所述悬臂梁(104)连接，所述针尖(106)设置于悬臂梁(104)远离压电陶瓷(102)的一端，所述压电陶瓷(102)用于接收电信号，并在所述电信号激励下进行纵向挠曲振动，所述压电陶瓷(102)传递纵向挠曲振动至悬臂梁(104)；所述激励激光器(108)用于发射第一激光与第二激光照射在所述悬臂梁(104)，使悬臂梁(104)进行横向扭转振动；所述悬臂梁(104)用于将横向扭转振动与纵向挠曲振动传递到针尖(106)上，使针尖(106)进行横向与纵向的合振动，以探测待测样品的表面力场分布。
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