[发明专利]一种蓝宝石单晶炉底部加热器及单晶炉在审
申请号: | 201711237383.4 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107904656A | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 李辉;大卫·肯尼斯·李斯;毛瑞川;张小潞;张熠 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 张弛 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石单晶炉底部加热器,包括发热体,发热体包含外层段、自外层段弯折处向内弯折的中层段、自中层段弯折处向内弯折的内层段,自外向内的每一段加热器部分的长度逐渐缩短且横截面积逐渐增大,在加热器通电的电流恒定情况下,发热体由外向内的发热量逐层降低,梯度更符合单晶炉中的晶体生长需要,发热体发热稳定性好。本发明还提供了使用蓝宝石单晶炉底部加热器的单晶炉。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 底部 加热器 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉底部加热器,包括发热体,其特征在于,所述发热体为带状结构,且发热体包含外层段、自外层段弯折处向内弯折的中层段、自中层段弯折处向内弯折的内层段;所述外层段的长度大于中层段的长度;中层段的长度大于内层段的长度;所述外层段的横截面积小于中层段的横截面积、中层段的的横截面积小于内层段的横截面积。
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