[发明专利]蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法及装置在审
| 申请号： | 201711235148.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108107439A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏华 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/06 | 分类号： | G01S17/06 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法，在机械手臂基座上安装激光光源和光电探测器，在传输腔顶部安装反射器；向反射器发送激光脉冲，然后用光电探测器接受从反射器返回的激光，通过探测激光脉冲的往返飞行时间来得到机械手臂的Y轴方向位置信息。本发明还公开了一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置测量装置。本发明能够及时知道机械手臂Y轴方向的状态，便于发现故障原因。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手臂 蚀刻设备 真空传输 反射器 腔内 光电探测器 位置量测 氧化膜 方向位置信息 位置测量装置 顶部安装 故障原因 激光光源 激光脉冲 探测激光 传输腔 脉冲 激光 往返 发送 返回 飞行 发现 | ||
【主权项】：
1.一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法，其特征在于：在机械手臂基座上安装激光光源和光电探测器，在传输腔顶部安装反射器；向反射器发送激光脉冲，然后用光电探测器接受从反射器返回的激光，通过探测激光脉冲的往返飞行时间来得到机械手臂的Y轴方向位置信息。
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