[发明专利]高真空环境下介质材料表面电位主动控制系统

摘要

本发明公开了一种高真空环境下介质材料表面电位主动控制系统，包括等离子体源体、微波系统和供气系统，微波系统包括微波电源系统和微波传输系统，微波电源系统通过微波传输系统将微波传输至等离子体源体的等离子体室内，供气系统包括气体储存系统和气体控制系统，等离子体源体产生的等离子体导入真空度为10‑4Pa以下的真空室内，并通过微波同轴天线在等离子体室内击穿工作气体，形成等离子体，位于等离子体室内的环形永磁钢用于产生磁场，且在磁场强度为0.0875特斯拉处形成高密度的电子回旋共振等离子体，所形成的等离子体包含电子和离子通过等离子体调节板扩散至待处理工件环境，实现介质表面电荷的主动调节。

主权项

一种高真空环境下介质材料表面电位主动控制系统，其特征在于：包括等离子体源体、微波系统、供气系统和真空系统，所述微波系统包括用于产生2.45GHz微波的微波发生器和微波传输系统，所述微波发生器由微波电源和磁控管构成；所述微波发生器其产生的微波通过微波传输系统传输至等离子体源体（19）的等离子体室（27）内；所述供气系统包括气体储存系统和用于控制进入等离子体室（27）内气体的气压和流量的气体控制系统，所述气体储存系统的气体通过进气管（21）通入等离子体源体的等离子体室（27），所述真空系统包括真空室（15），所述真空室内装有用于测试介质材料表面电位的电位计（16）和待控制表面电位的介质材料（20）及介质材料放置平台，真空室其真空度在10‑4Pa以下；所述等离子体源体（19）其产生的等离子体导入真空室（15）内，并作用于待控制表面电位的介质材料表面。