[发明专利]一种多通道集成滤光片的制造方法

摘要

本发明揭示了一种多通道集成滤光片的制造方法，选用与光学通道一一对应的机械掩膜夹具，通过机械掩膜工艺和光学高真空蒸镀工艺在一块完整的基片上设置多处光学滤光片膜层，以形成多个光学通道，光学通道之间相互隔绝，互不干扰，各自通过要求的光谱波段上的光线，实现滤光功能。由于是将多个光学滤光片膜层都制作在一片基片上，因此具有机械性能佳，在震动等恶劣环境中的耐受性能好的优点，而且光学滤光片膜层具有统一的基准面，装配调校容易，同时，体积较小，使得光学仪器的体积易于实现小型化，再者，各个光学通道制作均采用机械掩膜工艺，具有工艺简单、良品率高、制备成本低的优点。

主权项

一种多通道集成滤光片的制造方法，其特征在于，依次包括以下步骤：S1、使用机械掩膜夹具装夹基片，并将机械掩膜夹具和基片一起放入镀膜工件载盘，再一并装入真空镀膜系统中，所述机械掩膜夹具上设有与某一待成型光学通道的位置、形状相匹配的镂空处；S2、通过光学高真空蒸镀工艺在机械掩膜夹具和镂空处的基片表面上形成光学滤光片膜层；S3、取出机械掩膜夹具和基片，并将基片由机械掩膜夹具中取出，以得到只在相应机械掩膜夹具镂空区域内留有光学滤光片膜层的基片；S4、更换机械掩膜夹具，重复上述步骤S1‑S3，以在同一完整基片上设置至少两处光学滤光片膜层。