[发明专利]扫描或聚焦离子束电镜连接透射电镜样品杆的转换装置有效
| 申请号： | 201711218000.9 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109839517B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 谭军;邰凯平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料测试技术，具体为一种扫描电镜、聚焦离子束电镜连接透射电镜样品杆的转换装置。该装置包括：用于连接透射电镜样品杆和样品舱侧壁的高真空圆形气密法兰和波纹管、用于承载透射电镜样品杆的支架结构、用于实现透射电镜样品杆三维空间运动的高精度位移器、用于控制位移器的步进电机和电路单元等部分，透射电镜样品杆承载于支架结构上，通过高真空圆形气密法兰与扫描电镜、聚焦离子束电镜样品舱侧壁相连接，高精度位移器与透射电镜样品杆的末端相连，用于控制透射电镜样品杆在样品舱内的三维空间位置。本发明极大地方便样品的加工和显微结构分析，提高工作效率，广泛适用于各种型号的电镜样品杆和扫描电镜、聚焦离子束电镜连接。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 聚焦 离子束 连接 透射 样品 转换 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扫描或聚焦离子束电镜连接透射电镜样品杆的转换装置，其特征在于，该装置依次包括用于连接透射电镜样品杆和样品舱侧壁的圆形气密法兰和波纹管、用于密封透射电镜样品杆和波纹管法兰的O型橡胶圈、用于承载透射电镜样品杆的支架结构、用于实现透射电镜样品杆三维空间运动的位移器、用于控制位移器的步进电机和电路单元。
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