[发明专利]基板顶针座的监测方法及监测装置有效
| 申请号： | 201711215459.3 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108007372B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈坪 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;顾楠楠 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板顶针座的监测方法，包括如下步骤：在基板顶针座的顶针头上设置反射面；对基板顶针座设置至少一光源以及接收器；在基板顶针座之间建立反射路线，将光源投射至该反射路线中的其中一基板顶针座的顶针头上的反射面，使光在每个反射面之间进行反射并最终反射至接收器。本发明还提供了一种基板顶针座的监测装置，所述监测装置包括承载台、阵列排布在承载台上的用于承托基板的基板顶针座以及至少一组光投射接收装置。与现有技术相比，实现对基板顶针座实时监测，避免因基板顶针座发生形变而导致破片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 顶针 监测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板顶针座的监测方法，其特征在于：包括如下步骤：在基板顶针座(2)的顶针头上设置反射面(21)；对基板顶针座(2)设置至少一光源(31)以及接收器(32)；在基板顶针座(2)之间建立反射路线，将光源(31)投射至反射路线中其中一基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)，使光在每个基板顶针座(2)的顶针头上的反射面(21)之间进行反射并最终反射至接收器(32)，从而判断基板顶针座是否有形变。
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