[发明专利]硅片清洗制绒工艺

摘要

本发明公开了一种能够保便于制绒温度控制，同时保证硅片在进行硅片清洗、制绒过程中硅片始终处于湿润状态的硅片清洗制绒工艺。该硅片清洗制绒工艺，采用硅片清洗制绒装置实现，所述硅片清洗制绒装置包括硅片制绒槽、硅片转运装置以及硅片脱胶清洗装置；所述硅片转运装置设置在硅片制绒槽与硅片脱胶清洗装置之间；硅片清洗制绒工艺包括工艺步骤清洗和制绒；采用该硅片清洗制绒工艺制绒温度控精度高，整个工艺槽内化学反应稳定，可控，能够实现有效控制溶液的反应速度和挥发量，便于工艺调整；同时硅片在转运过程中经过喷淋可以保证硅片在运转过程中始终保持湿润状态，从而有效避免出现“边缘花片”的情况，提高产品的质量。

主权项

1.硅片清洗制绒工艺，其特征在于：采用硅片清洗制绒装置，所述硅片清洗制绒装置包括硅片制绒槽(1)、硅片转运装置(2)以及硅片清洗装置(3)；所述硅片转运装置(2)设置在硅片制绒槽(1)与硅片清洗装置(3)之间；所述硅片制绒槽(1)包括槽体(11)、加热控制器(19)；所述槽体(11)的一端设置有入水槽(12)，另一端设置有出水槽(13)；所述入水槽(12)一端通过第一匀流板(17)与槽体(11)连通，另一端的上方设置有与入水槽(12)连通的入水箱(14)；所述入水箱(14)具有入水口(141)，所述入水槽(12)内由入水槽(12)的一端向另一端依次设置有横向加热电阻(20)、竖向加热电阻(15)以及搅拌装置(16)；所述横向加热电阻(20)位于入水箱(14)的下方；且在竖直方向上均匀分布；所述竖向加热电阻(15)沿水平方向上均匀分布；所述搅拌装置(16)位于第一匀流板(17)的一侧；所述出水槽(13)的一端通过第二匀流板(18)与槽体(11)连通，另一端设置有出水口(131)；所述槽体(11)的底部设置有保温加热电阻(110)，所述槽体(11)内设置有温度传感器，所述温度传感器、横向加热电阻(20)、竖向加热电阻(15)以及保温加热电阻(110)均与加热控制器(19)电连接；所述硅片转运装置(2)包括安装座(211)，所述安装座(211)上设置有转盘，所述转盘上安装有竖向滑柱(21)，所述竖向滑柱(21)上设置有滑台(22)，所述滑台(22)上设置有第一伸缩装置(23)，所述第一伸缩装置(23)一端与滑台(22)固定连接，另一端设置有支撑臂(25)，所述支撑臂(25)一端与伸缩装置(23)通过转动关节(24)连接；所述支撑臂(25)的另一端的下方设置有第二转盘(26)，所述第二转盘(26)上设置有第二伸缩装置(27)，所述第二伸缩装置(27)的下端设置有夹爪(28)；所述夹爪(28)包括固定板、固定夹爪(281)和动夹爪(282)，所述固定夹爪(281)固定安装在固定板上，所述动夹爪(282)沿固定板的长度方向滑动安装在固定板上；所述固定板上设置有驱动动夹爪(282)沿固定板的长度方向滑动的滑动驱动装置；所述固定夹爪(281)和动夹爪(282)之间形成抓夹区间，所述固定板下表面设置有喷头(29)，所述支撑臂(25)上设置有增压泵(210)；所述喷头(29)与增压泵(210)连通，所述喷头(29)位于抓夹区间内；还包括以下步骤：1)首先硅片在经过硅片清洗装置(3)进行清洗，在硅片清洗装置(3)的水槽内，配置清洗液清洗液包括HCl、H202、DI水，其中HCl：H202：DI水为1:1:6～1:2:8；2)水槽内保证清洗液温度为70℃到85℃，然后将硅片浸泡25至30min；3)通过硅片转运装置(2)将硅片转运至硅片制绒槽(1)内；转运过程中通过转运装置(2)上的喷头(29)一直向装载硅片的花篮喷洒雾状DI水；4)在硅片制绒槽中，首先配置制绒溶液，所述制绒溶液为浓度为1％‑2％的氢氧化钠溶液，并且向制绒溶液内添加异丙醇；其中质量百分比氢氧化钠：异丙醇为1:50至1:80；然后将制绒溶液由入水箱(14)送入，制绒溶液依次经过横向加热电阻(20)、竖向加热电阻(15)、搅拌装置(16)处理后，使得制绒溶液温度为80℃±5℃，然后制绒溶液通过第一匀流板(17)进入槽体(11)内；5)在槽体(11)内通过温度传感器对槽体(11)内的制绒溶液的温度进行实时监控，然后通过加热控制器(19)控制保温加热电阻(110)对槽体进行加热，保证槽体(11)内的制绒溶液温度波动范围在±0.3℃之内；6)硅片在制绒溶液中浸泡15至20min。