[发明专利]一种大口径全制冷型低温泵

摘要

本发明公开了一种大口径全制冷型低温泵，是一种气体抽除泵，属于真空制冷技术领域。本发明多台大功率低温制冷机共同使用，形成对大口径、大热容量部件的制冷作用，保证低温泵各部件达到预定温度，保持温度协同效应，达到对不同气体低温冷凝和吸附作用。吸附阵采用长方体结构，在其表面增加上下面敞开的翅片，增大冷凝面积，吸附阵内表面粘接不同比表面积、孔隙率的椰壳活性炭，形成对低分子量气体的吸附，障板是百叶窗结构。通过改进结构，部件制冷全部采用制冷机制冷，而非制冷工质制冷，简化了结构、提高了可靠性，降低了低温泵的复杂性。具有大抽速、系统简便、真空清洁的特点，只以电能为动能，使用简单高效，满足真空系统大抽速的要求。

主权项

一种大口径全制冷型低温泵，其特征在于：由低温制冷机、泵壳、冷屏、障板、吸附阵、温度传感器、障板测温元件以及吸附阵测温元件组成；其中，低温制冷机包含一级制冷机和二级制冷机；至少包含两台及以上低温制冷机，包含并不少于一台二级制冷冷头和不少于一台一级制冷冷头，并根据低温泵抽速要求确定低温制冷机数量和类型；根据低温泵的法兰尺寸和抽速，计算确定低温泵的配置及数量，必然包含但不少于一台二级制冷机冷头和不少于一台二级制冷机冷头，要求二级制冷机冷头具有较大的二级冷头制冷功率，要求一级制冷机冷头具有77K左右制冷功率大和变化平稳的特点；其中，吸附阵外表面为镀镍表面，吸附阵内表面粘接椰壳活性炭；此外，为增大吸附面积，吸附阵在长方体表面增加翅片，且长方体沿泵轴线上下面敞开，增大了低温冷凝和吸附面积，可以大大提高低温泵抽速；冷屏与泵壳连接处采用绝热结构，冷屏采用具有低温下较大热导率的纯铝制成；温度传感器分别安装在吸附阵和障板上，连接结构采用机械紧固连接方式；障板是百叶窗形板状结构，位于低温泵口位置；障板面朝泵体的表面电镀亮镍、面朝吸附阵的表面要进行发黑处理；冷屏采用纯铝制成，冷板外表面镀镍，内表面发黑。