[发明专利]一种双环电极共面放电等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201711180889.6 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109831866B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李建;童洪辉;王坤;但敏;金凡亚 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院;成都理工大学工程技术学院 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于低温等离子体技术领域，具体涉及一种双环电极共面放电等离子体发生装置。本装置由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成；所述双环形电极单元包括内环电极和外环电极，内环电极和外环电极均埋藏在介质层内一定深度，内环电极接地，外环电极连接高压电源的高频、高电压电极，多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体，在所述的内环电极和外环电极之间的介质层表面，在高电压作用下产生共面放电等离子体，等离子体分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 放电 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双环电极共面放电等离子体发生装置，由电源和埋藏在介质层内的双环形电极单元紧密排列而成；所述双环形电极单元包括内环电极(1)和外环电极(2)，内环电极(1)和外环电极(2)均埋藏在介质层内一定深度，内环电极(1)接地，外环电极(2)连接高压电源的高频、高电压电极，多个双环形电极单元组合后可以产生大面积均匀等离子体，其特征在于：在所述的内环电极(1)和外环电极(2)之间的介质层表面，在高电压作用下产生共面放电等离子体，等离子体分布均匀。
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