[发明专利]阀控制装置有效
| 申请号： | 201711167307.0 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108304005B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 平田伸幸;小崎纯一郎;中谷敦夫;中村雅哉 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实现真空阀的调压性能提高的阀控制装置。阀控制器(2)输入有与真空阀(1)连接的真空腔室(3)的压力计测值Pr、真空腔室(3)的压力目标值Ps与真空阀(1)的开度计测值θr，基于压力计测值Pr与压力目标值Ps的偏差来控制真空阀(1)的开度θ，所述阀控制器(2)包括：存储部(23)，存储有真空阀(1)的开度与包含真空阀(1)的系统的流导的相关；以及开度设定部(21)，基于所述相关，求出所输入的开度计测值θr中的流导相对于开度变化的变化率(dS/dθ)，将所述变化率的倒数设定为修正增益，且所述阀控制器(2)基于偏差与修正增益来控制真空阀(1)的开度。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阀控制装置，输入有与真空阀连接的腔室的压力计测值、所述腔室的压力目标值与所述真空阀的开度计测值，基于所述压力计测值与所述压力目标值的偏差，来控制所述真空阀的开度，所述阀控制装置的特征在于包括：存储部，存储有所述真空阀的开度、与包含所述真空阀的系统的流导的相关；以及修正增益设定部，基于所述相关，求出所述输入的开度计测值中的所述流导相对于开度变化的变化率，将所述变化率的倒数设定为修正增益，所述阀控制装置基于所述偏差与所述修正增益来控制所述真空阀的开度。
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