[发明专利]一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法有效
| 申请号： | 201711145220.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN107957424B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐飞;田云飞;陆延青;胡伟 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 显微镜 鉴别 超薄 透明 表面 瑕疵 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。
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