[发明专利]一种硅片全自动插片清洗装置及方法

摘要

本发明公开了一种硅片全自动插片清洗装置及方法，该装置包括依次放置相互连接固定在一起的插片机、清洗机、烘干机、分选机，分选机的出料口设置有承载盒回流线从分选机出料口返回至插片机的空承载盒运送装置，插片机完成分片、插篮任务后将插满硅片的承载盒经满载承载盒运送装置输送至清洗机，清洗机通过机械手将数组承载盒放入清洗槽内完成清洗作业，之后经烘干、分选，空承载盒经承载盒回流线返回插片机进行插片前准备。本发明通过插片、上料、清洗进行自动化改进，提高了硅片插片清洗全过程的自动化水平，达到了节省人力、提高效率的目的。

主权项

一种硅片全自动插片清洗装置，包括依次放置相互连接固定在一起的插片机、清洗机、烘干机、分选机，其特征在于：所述插片机，包括空承载盒运送装置、插片装置、满载承载盒运送装置；所述插片装置包括置于水槽内的储片盒、硅片分离装置、输送插片装置；所述储片盒底部设置有升降台；所述硅片分离装置包括设置在储片盒左右两侧和正前方的喷嘴以及前端延伸进储片盒内的分离皮带；所述输送插片装置包括输送皮带以及可升降的承载盒架；所述输送皮带前端位于分离皮带后端的下方，输送皮带后端通达承载盒架；所述满载承载盒运送装置连接清洗机的入料口；所述清洗机依次包括预粗洗槽、碱洗槽、第一漂洗槽、PP酸槽、第二漂洗槽和慢拉槽；所述分选机的出料口设置有承载盒回流线从分选机出料口返回至插片机的空承载盒运送装置，所述承载盒回流线固定在清洗机一侧。