[发明专利]优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法有效

专利信息
申请号: 201711131881.0 申请日: 2017-11-15
公开(公告)号: CN108133977B 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 王晓东;王兵兵;陈雨璐;张传胜;张皓星;周德亮;侯丽伟;俞旭辉 申请(专利权)人: 上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)
主分类号: H01L31/09 分类号: H01L31/09;H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 庄文莉
地址: 200063 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供的一种优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法,包括如下步骤:将阻挡杂质带探测器封装至恒温器中;测得不同工作温度下阻挡杂质带探测器的背景电流IBG随正电极偏压U变化的曲线,并确定探测器的击穿电压UBD;获取背景电流IBG随阻挡杂质带探测器的工作温度T变化的曲线IBG(T);测量得到不同工作温度下阻挡杂质带探测器的黑体响应电流IBB随正电极偏压U变化的曲线;获取黑体响应电流IBB随阻挡杂质带探测器工作温度T变化的曲线IBB(T);根据探测器优值因子随探测器工作温度变化的曲线确定最佳工作温度。本发明对制备的阻挡杂质带探测器进行数据采集及数据处理得到最佳工作温度,进而根据优化后的结果设置阻挡杂质带探测器的工作温度,性能将具有最优值。
搜索关键词: 探测器 杂质带 阻挡 黑体 背景电流 响应电流 正电极 优化 工作温度变化 击穿电压 结果设置 曲线确定 数据采集 数据处理 恒温器 封装 制备 测量
【主权项】:
1.一种优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,制备阻挡杂质带探测器;步骤2,将阻挡杂质带探测器封装至恒温器中;步骤3,测得不同工作温度下阻挡杂质带探测器的背景电流IBG随正电极偏压U变化的曲线,并确定探测器的击穿电压UBD;其中背景电流IBG为300K室温背景辐照下通过阻挡杂质带探测器的直流量,击穿电压UBD为背景电流出现激增时的正电极偏压;步骤4,选取一个固定偏压UF,获取当正电极偏压U=UF时,背景电流IBG随阻挡杂质带探测器的工作温度T变化的曲线IBG(T);其中UF的绝对值小于击穿电压UBD的绝对值;步骤5,将黑体辐射从正面垂直照射到阻挡杂质带探测器上,经电流放大器及锁相放大器测量得到不同工作温度下阻挡杂质带探测器的黑体响应电流IBB随正电极偏压U变化的曲线;其中黑体响应电流IBB为黑体辐照下阻挡杂质带探测器产生的信号电流;所述步骤5包括:步骤5.1,将黑体辐射从正面垂直照射到阻挡杂质带探测器上;步骤5.2,设置并记录电流放大器的放大倍率β,所述的放大倍率β为电流放大器的互阻放大倍率,其量纲为电阻,且定义为电流放大器的输出电压与输入电流之比;步骤5.3,记录锁相放大器输出的信号电压VS;其中信号电压VS等于步骤5.2所述的电流放大器的输出电压;步骤5.4,计算探测器的黑体响应电流IBB;其中黑体响应电流IBB等于步骤5.2所述的电流放大器的输入电流,根据步骤5.2所述的放大倍率β的定义,黑体响应电流IBB满足IBB=VS/β;步骤5.5,改变探测器的工作温度及正电极偏压,重复步骤5.3及步骤5.4,得到不同工作温度下探测器的黑体响应电流IBB随正电极偏压U变化的曲线;在步骤5中得到的不同工作温度T下探测器的黑体响应电流IBB随正电极偏压U变化的曲线中,设置正电极偏压U为步骤4所述的固定偏压UF,得到正电极偏压UF下黑体响应电流IBB随探测器工作温度T变化的曲线;步骤6,获取当正电极偏压U=UF时,黑体响应电流IBB随阻挡杂质带探测器工作温度T变化的曲线IBB(T);步骤7,根据探测器优值因子随探测器工作温度变化的曲线确定最佳工作温度;其中探测器优值因子为IBB/(IBG)1/2;通过步骤6所得曲线IBB(T)除以步骤4所得曲线IBG(T),得到探测器优值因子IBB/(IBG)1/2随探测器工作温度T变化的曲线;根据步骤7得到的探测器优值因子IBB/(IBG)1/2随探测器工作温度T变化的曲线,将IBB/(IBG)1/2取最大值时所对应的T即为探测器的最佳工作温度。
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