[发明专利]一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法及装置有效
| 申请号： | 201711115996.0 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107891203B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 王祥志;张田;干为民;肖华星;徐梦廓;江炜;黄亮;徐波 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | B23H5/08 | 分类号： | B23H5/08 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 高桂珍 |
| 地址： | 213032 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法及装置，属于电化学机械抛光领域。本发明的高效抛光加工方法包括以下步骤：a、构建活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元，将活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元布置在回转体工件的外围，以便向工件喷射活性电解液和钝性电解液，并在每个活性电解液电解单元与钝性电解液电解单元之间设置机械光整机构以去除钝化膜；b、转动工件，进行抛光加工，在该抛光加工过程中，电解去除、钝化保护、机械去除钝化膜交替进行过程，直到达到加工要求。本发明通过活性电解液加速工件表面高凸部分材料的溶解蚀除，可幅提高电化学机械抛光的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回转 体活钝 交替 电化学 机械 高效 抛光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法，其特征在于：包括以下步骤：a、构建活钝交替抛光加工系统：构建活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元，将活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元布置在回转体工件的外围，以便向工件喷射活性电解液和钝性电解液，并在每个活性电解液电解单元与钝性电解液电解单元之间设置机械光整机构；b、转动工件，进行抛光加工，该抛光加工包括以下分步骤：b‑1、工件与钝性电解液电解单元中的钝性电解液接触，在钝性电解液的作用下生成钝化层，对工件表面进行保护，使工件表面低凹部分的溶解得到抑制；b‑2、由机械光整机构将工件表面高凸部分的钝化层刮除，露出新的表面；b‑3、新的表面与活性电解液电解单元中的活性电解液接触，在电化学溶解的作用下溶解蚀除；b‑4、重复进行上述步骤b‑1至b‑3，直至工件表面达到加工要求。
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