[发明专利]干刻蚀装置及干刻蚀方法

摘要

本发明公开了一种干刻蚀装置，包括制程腔、排气组件以及测压组件，制程腔用以对待加工组件进行干刻蚀制程作业，排气组件用以排出干刻蚀制程中产生的制程生成物，测压组件用以实时监测制程腔中的压强；所述测压组件安装在制程腔上，所述干刻蚀装置还包括设置在所述测压组件与所述制程腔的连接处的套管，所述套管用以防止干刻蚀制程中产生的制程生成物流入测压组件内。本发明的干刻蚀装置，通过套管捕集制程生成物流入测压组件，从而避免测压组件受制程生成物的影响而出现零点漂移、维护周期短、检修成本高等问题；并且测压组件的从安装在排气组件上转到制程腔上，减少制程生成物沉积对测压组件的影响。另，本发明还公开了一种干刻蚀方法。

主权项

一种干刻蚀装置，包括制程腔、至少一排气组件以及至少一测压组件，所述制程腔容置待加工组件，并对所述待加工组件进行干刻蚀制程作业，所述排气组件连接至所述制程腔，用以排出干刻蚀制程中产生的制程生成物，所述测压组件用以实时监测所述制程腔中的压强，其特征在于，所述测压组件安装在所述制程腔上，所述干刻蚀装置还包括一套管，所述套管设置于所述测压组件与所述制程腔的连接处，并与所述制程腔相连通，所述套管用以捕集制程腔流向测压组件的制程生成物，防止干刻蚀制程中产生的所述制程生成物流入所述测压组件内。