[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法在审
| 申请号： | 201711096113.6 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107833901A | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 何延强;林宗德;杨龙康;黄仁德 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 徐文欣,吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种背照式图像传感器及其形成方法，背照式图像传感器包括晶圆主体，晶圆主体包括主体背面，晶圆主体包括像素单元区，像素单元区包括第一区和第二区；位于晶圆主体第一区内的第一感光器件；位于晶圆主体第一区中的第一槽，第一槽的开口朝向主体背面；位于第一槽中的第一透光层，且第一透光层至第一感光器件的最小距离大于零；位于晶圆主体第二区内的第二感光器件；位于第一透光层表面的蓝滤光片；位于第二区主体背面的红滤光片。所述背照式图像传感器的成像串扰程度降低。 | ||
| 搜索关键词： | 背照式 图像传感器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种背照式图像传感器，其特征在于，包括：晶圆主体，晶圆主体包括主体背面，晶圆主体包括像素单元区，像素单元区包括第一区和第二区；位于晶圆主体第一区内的第一感光器件；位于晶圆主体第一区中的第一槽，第一槽的开口朝向主体背面；位于第一槽中的第一透光层，且第一透光层至第一感光器件的最小距离大于零；位于晶圆主体第二区内的第二感光器件；位于第一透光层表面的蓝滤光片；位于第二区主体背面的红滤光片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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