[发明专利]一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法

摘要

本发明公开了无尘布检测领域中的一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法，包括准备仪器及试剂、干式擦拭测试、湿式擦拭测试以及计算等步骤。本发明解决了目前洁净室擦拭布行业标准中对无尘布实际使用擦拭过程中由于摩擦产生的颗粒物、毛屑、毛羽等微粒检测方法的缺失，给洁净室无尘布，尤其是高洁净度无尘布在干态或湿态使用环境和过程中提供了一种客观，可靠的洁净度数据支持和评价。

主权项

一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、准备测试仪器及试剂，包括层流洁净室或工作环境、工业用异丙醇、光学显微镜、平板玻璃、不锈钢长方体、无尘布、洁净室用手套、洁净剪刀、洁净镊子、洁净烧杯、洁净量筒以及专用清洁擦拭溶液，其中所述平板玻璃上带有网格线，所述网格线的中央为测试空格，所述不锈钢长方体的背面带有用于固定擦拭布的不锈钢夹和可带动不锈钢长方体左右移动的支架；步骤2、干式擦拭，分别在空白状态和用无尘擦拭布样品擦拭后，用所述光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并记录；步骤3、湿式擦拭，分别在空白状态和用湿润后的无尘擦拭布样品擦拭后，用所述光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并记录；步骤4、无尘布样品擦拭发尘量按照如下公式计算：X=[（A21‑A11）+…+（A25‑A15）]/5S式中：X为无尘布样品干态/湿态擦拭发尘量，单位为个每平方厘米，A11、A12、A13、A14、A15为测试空格空白测试微粒总数，单位为个，A21、A22、A23、A24、A25为测试空格擦拭后测试微粒总数，单位为个，S为测试空格的总面积，单位为平方厘米，所得结果修约至整数。