[发明专利]一种碲化镉薄膜太阳能电池的吸收层掺硒工艺在审
申请号: | 201711079180.7 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN107910394A | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 彭寿;马立云;潘锦功;殷新建;杨少飞 | 申请(专利权)人: | 成都中建材光电材料有限公司 |
主分类号: | H01L31/0445 | 分类号: | H01L31/0445;H01L31/18;H01L21/02 |
代理公司: | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙)51237 | 代理人: | 李华,温黎娟 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种碲化镉薄膜太阳能电池的吸收层掺硒工艺,包括步骤1)依次沉积透明导电层、高电阻层及窗口层;2)在硒气氛下沉积碲化镉薄膜获得掺硒碲化镉薄膜,所述硒气氛为硒在真空条件下高温蒸发获得;3)在氯化镉气氛下高温处理掺硒碲化镉薄膜,后沉积背接触层,并进行掺铜处理,高温退火后封装。本发明可以实现在碲化镉薄膜中掺杂硒,达到改变碲化镉薄膜带隙的目的,从而提高碲化镉薄膜太阳能电池的短路电流与转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 碲化镉 薄膜 太阳能电池 吸收 层掺硒 工艺 | ||
【主权项】:
一种碲化镉薄膜太阳能电池的吸收层掺硒工艺,包括以下步骤:1)依次沉积透明导电层、高电阻层及窗口层;2)在硒气氛下沉积碲化镉薄膜获得掺硒碲化镉薄膜,所述硒气氛为硒在真空条件下高温蒸发获得;3)在氯化镉气氛下高温处理掺硒碲化镉薄膜,后沉积背接触层,高温退火后封装。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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