[发明专利]搬送装置、加工装置和搬送方法有效

专利信息
申请号: 201711058243.0 申请日: 2017-11-01
公开(公告)号: CN108074849B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 塚本真裕;富樫谦 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供搬送装置、加工装置和搬送方法,能够可靠地对收纳于盒中的框架单元进行保持而搬送,也适于加工装置的小型化。搬送装置从对框架单元进行收纳的盒中将框架单元搬出并搬送至规定的位置,框架单元是在环状的框架的开口借助带而支承板状的被加工物而得的,搬送装置具有:保持部,其具有能够对框架的近前侧的分离的两处上下夹持而进行把持的两组夹持部和抵靠于框架的抵靠部;移动部,其使保持部移动;控制部,其对各结构要素进行控制,控制部对各结构要素进行如下控制:利用夹持部对框架进行把持而从盒中部分地拉出,将夹持部的把持解除后在按照使框架朝向盒移动的方式使抵靠部抵靠于框架的状态下用夹持部对框架进行把持而提起并搬送至规定的位置。
搜索关键词: 装置 加工 方法
【主权项】:
1.一种搬送装置,该搬送装置从对框架单元进行收纳的盒中将该框架单元搬出并搬送至规定的位置,其中,所述框架单元是在环状的框架的开口中借助带对板状的被加工物进行支承而得的,该搬送装置的特征在于,该搬送装置具有:保持部,其具有能够对该框架的近前侧的分离的两处上下夹持而进行把持的两组夹持部以及抵靠于该框架的抵靠部;移动部,其使该保持部移动;以及控制部,其对各结构要素进行控制,该控制部按照如下方式对各结构要素进行控制:利用该夹持部对该框架进行把持而从该盒中部分地拉出,将该夹持部的把持解除,然后在按照使该框架朝向该盒移动的方式使该抵靠部抵靠于该框架的状态下,利用该夹持部对该框架进行把持而提起并搬送至该规定的位置。
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