[发明专利]一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机在审
申请号: | 201711047375.3 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107589636A | 公开(公告)日: | 2018-01-16 |
发明(设计)人: | 谭艾英;杨若夫;孙秀辉;尹韶云;蔡文涛;陈建军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;张家港奇点光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)11531 | 代理人: | 李宏伟 |
地址: | 400714 重庆市北碚区水土镇方*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置,包括滑动基板,滑动基板上固定有LED光源模块,两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合;目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx,Y方向的尺寸为Ly,LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1,Y方向的尺寸为Ly1;若Lx<Ly,所需LED光源模块的数量N=Lx/Lx1,滑动基板的滑动方向与Y方向相同;若Lx>Ly,所需LED光源模块的数量N=Ly/Ly1,滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑,降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外 曝光 led 装置 及其 | ||
【主权项】:
一种紫外曝光机的LED曝光装置,其特征在于:包括滑动基板,所述滑动基板滑动安装于固定底座上且由驱动装置驱动直线滑动,所述滑动基板上固定有多个尺寸相同的LED光源模块,各LED光源模块间隔排列成两排,每排LED光源模块之间的间距相等;两排LED光源模块相互错位设置且其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面边缘重合;目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx,Y方向的尺寸为Ly,每个LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1,Y方向的尺寸为Ly1;若Lx<Ly,所需LED光源模块的数量N=Lx/Lx1,滑动基板的滑动方向与Y方向相同;若Lx>Ly,所需LED光源模块的数量N=Ly/Ly1,滑动基板的滑动方向与X方向相同。
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