[发明专利]一种结构紧凑且调节温度范围广的连续分子束源系统有效

专利信息
申请号: 201711040912.1 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN109729636B 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 吴家伟;杨学明 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H05H3/02 分类号: H05H3/02
代理公司: 21001 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 代理人: 郑虹
地址: 116023 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供一种结构紧凑且调节温度范围广的连续分子束源系统,分子束源系统中包括:束源管部分、气体连接部分、束源冷却和热屏蔽部分、束源温度测量与温度控制部分。所述束源管由一根一端封闭的金属管组成;束源管采取中间细两端粗的几何构型;在管的正中间设置直径25‑50μm的小孔用于产生分子束;一定压力的气体通过束源管前端小孔达到超声膨胀,然后经由漏勺形成一定强度的分子束流,分子束的平动能由喷嘴管的温度决定,本发明中喷嘴的温度是利用喷嘴本身电阻进行加热而不需要额外的加热部件从而实现设计上的简便性。
搜索关键词: 束源 连续分子 喷嘴 分子束 小孔 分子束流 分子束源 几何构型 加热部件 气体通过 温度测量 温度决定 一端封闭 中间设置 简便性 金属管 喷嘴管 热屏蔽 动能 超声 粗的 电阻 漏勺 加热 冷却 膨胀
【主权项】:
1.一种结构紧凑且调节温度范围广的连续分子束源系统,其特征在于在其束源系统中包括:束源管部分、气体连接部分、束源冷却和热屏蔽部分、束源温度测量与温度控制部分;/n所述束源管部分包括束源管和束源安装架子,所述束源管由一根一端封闭的金属管组成;束源管采取中间细两端粗的几何构型;在管的正中间设置直径25-50微米的小孔用于产生分子束;利用整根束源管自身电阻进行直流加热;束源管开口部分与气体供应部分通过标准1/4不锈钢管VCO连接;/n所述束源安装架子由安装滑轨和圆锥状漏勺的转接片以及机械连接部件组成,所述机械连接部件为与冷却铜块连接的部件、中央用于定位的连接棒和中央与滑轨连接的中央固定块;/n所述束源冷却和热屏蔽部分由前冷却铜块、后冷却铜块组成,并通过连接冷却铜块的固定件与安装滑轨连接,两个铜块间连接部分设置安装孔,束源管通过安装孔由前后冷却铜块通过螺丝配合固定,同时后冷却铜块为中空结构,给束源管通加热电流的铜线和冷却水管通过冷却水管安装孔和加热铜线安装孔安装在后冷却铜块上;同时为了屏蔽热辐射在束源管外侧包裹外热屏蔽钽片和内热屏蔽钽片,钽片也是通过螺丝安装与固定在前冷却铜块和后冷却铜块上;/n所述束源温度测量与温度控制部分包括热电偶和电脑控制系统,束源的温度是通过焊接在其中央的热电偶来测量,并通过电脑利用通用的PID算法控制直流电源输出。/n
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