[发明专利]掩模盒在审
| 申请号： | 201710946783.6 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN108149189A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 梁落云 | 申请（专利权）人： | 成进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;许伟群 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 根据一个实施方式的掩模盒包括：插槽形成部，用于装载掩模；上部框架，用于盖住上述插槽形成部的上部；下部框架，设置于上述插槽形成部的下部；侧面框架，沿着上下方向延伸并连接于上述上部框架与上述下部框架之间，用于支撑上述插槽形成部；以及衬垫，与上述插槽形成部的上部面相结合，并与上述掩模相接触，由强度高于上述插槽形成部的材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | 形成部 插槽 上部框架 下部框架 掩模盒 掩模 上下方向延伸 材料形成 侧面框架 装载 支撑 | ||
【主权项】：
一种掩模盒，其特征在于，包括：插槽形成部，掩模装载于上述插槽形成部；上部框架，盖住上述插槽形成部的上部；下部框架，设置于上述插槽形成部的下部；侧面框架，向上下方向延伸并连接于上述上部框架与上述下部框架之间，并支撑上述插槽形成部；以及衬垫，与上述插槽形成部的上部面相结合，并与上述掩模相接触，由强度高于上述插槽形成部的材料形成，上述插槽形成部包括：本体部，配置于上述掩模的两侧下部；延伸部，从上述本体部的两侧端部朝向内侧向水平方向延伸；以及挡止部，在上述插槽形成部的两侧端部朝向上侧突出，用于防止上述掩模的移动，上述衬垫包括：前方衬垫及后方衬垫，分别设置于上述插槽形成部的前方和后方；以及中间衬垫，设置于上述插槽形成部的中间，在上述衬垫的底面部设置有用于与上述插槽形成部相结合的连接部件，上述连接部件压入于上述衬垫的底面部而与上述衬垫相结合，从而上述衬垫的上部面维持平面状态。
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