[发明专利]加热系统及去气腔室在审
| 申请号： | 201710908793.0 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109587831A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王肃珂 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05B1/02 | 分类号： | H05B1/02;G01R19/22 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热系统，包括：多个加热组件，每个加热组件包括一个加热件或者串联的至少两个加热件；多个加热组件的两个连接端分别与第一端子和第二端子相连；第一端子和第二端子用于连接电源；与所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于与对应的加热组件与第一端子或第二端子的连接导线互感；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过未检测到所述电流来判断该加热组件中的加热件存在异常。本发明还提供去气腔室。不仅便于快速地检查出加热件的异常，而且操作容易、结构简单、成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 加热组件 加热件 电流互感器 电流检测器 加热系统 腔室 去气 连接导线 连接电源 连接端 检测 互感 串联 检查 | ||
【主权项】：
1.一种加热系统，其特征在于，包括：多个加热组件，多个所述加热组件并联后，与电源串联；其中，与至少一个所述加热组件对应设置有：电流互感器和电流检测器；所述电流互感器用于感应与其对应的所述加热组件所在的并联支路上的电流；所述电流检测器用于检测所述电流互感器上的电流，以便于通过所述电流检测器未检测到所述电流来确定与该电流检测器对应的所述加热组件存在异常。
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