[发明专利]一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法

摘要

本发明公开了一种二维快速偏摆反射镜及其工作方法，其特征在于包括：镜面支撑结构、第一柔性偏摆机构、第二柔性偏摆机构、传感驱动组件、底座和驱动控制系统；所述柔性偏摆机构组合后用于安装镜面支撑结构，传感驱动组件与驱动控制系统连接用于控制柔性偏摆机构执行偏摆动作，底座用于固定传感驱动组件和柔性偏摆机构。本发明的优点在于：具备装配简单、机构紧凑、空间利用率高、稳定性好、响应快、体积小，重量轻、刚度高的特点；增加了输出偏摆角的范围，使得反射镜具备较大的偏摆范围；测量精度高、占用空间小，能够间接测量偏摆输出角度，具备较高的偏摆角输出精度；提高了光束控制精度；具有较高的线性度和分辨率。

主权项

一种二维快速偏摆反射镜，其特征在于包括：镜面支撑结构(1)、第一柔性偏摆机构(2)、第二柔性偏摆机构(3)、传感驱动组件(4)、底座(5)和驱动控制系统(6)；所述第一柔性偏摆机构(2)与第二柔性偏摆机构(3)组合后用于安装镜面支撑结构，传感驱动组件(4)与驱动控制系统(6)连接用于控制第一柔性偏摆机构(2)与第二柔性偏摆机构(3)执行偏摆动作，底座(5)用于固定传感驱动组件(4)和第二柔性偏摆机构(3)。