[发明专利]原位检测衬底处理系统的衬底区域中的氧的系统和方法在审
| 申请号： | 201710897288.0 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107941757A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 杨邓良;伊利亚·卡利诺夫斯基;方浩全;大卫·张 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/73 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 李献忠,张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及原位检测衬底处理系统的衬底区域中的氧的系统和方法。用于测量衬底上方的中性气体物质的浓度的测量系统包括位于室中以支撑衬底的衬底支撑件。等离子体源在室中在衬底上方产生等离子体。等离子体产生比中性气体物质具有更高的电离能的亚稳态物质。亚稳态物质激发位于衬底上方的中性气体物质。光学发射光谱仪(OES)传感器在等离子体由等离子体源产生的同时测量来自衬底上方的位置的光谱。控制器被配置为基于测得的光谱来确定衬底上方的区域中的中性气体物质的浓度，并且被配置基于该浓度选择性地处理衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 检测 衬底 处理 系统 区域 中的 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量衬底上方的中性气体物质的浓度的测量系统，其包括：室；位于所述室中以支撑衬底的衬底支撑件；等离子体源，其用于在所述室中在所述衬底上方产生等离子体，其中所述等离子体产生比中性气体物质具有更高的电离能的亚稳态物质，并且其中所述亚稳态物质激发位于所述衬底上方的所述中性气体物质；光学发射光谱仪(OES)传感器，其用于在由所述等离子体源产生所述等离子体的同时测量来自所述衬底上方的位置的光谱；和控制器，其被配置为基于测得的所述光谱确定所述衬底上方的区域中的所述中性气体物质的浓度。
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