[发明专利]一种四极质谱计在审
| 申请号： | 201710894187.8 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109580759A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 欧雷;卢晓明;匡程丹;严小锐;辜亮波;童刚 | 申请（专利权）人： | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 成飞(集团)公司专利中心 51121 | 代理人： | 梁义东 |
| 地址： | 610092*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种四极质谱计，用于真空系统中气体的成分分析，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。被分析的气体从该进气口流过四极质谱计四极杆组成的采样部件，相对于传统的在四极质谱计底端分流进气的方法，本发明气体采样的灵敏度更高，能提高四极质谱计的气体分析能力，有利于气体成分的定量分析。 | ||
| 搜索关键词： | 四极质谱计 采样管 进气口 四极杆 真空系统 底端 定量分析 采样部件 成分分析 气体采样 气体分析 传统的 灵敏度 真空泵 法兰 进气 内置 分析 分流 | ||
【主权项】：
1.一种四极质谱计，包括四极质谱计本体、四极杆和采样管，其特征在于，四极质谱计本体（1）用CF法兰与采样管（2）连接，四极杆（3）内置在采样管（2）中，采样管（2）顶端开有进气口，进气口与待分析真空系统（6）连接，采样管（2）底端与真空泵（7）连接。
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