[发明专利]用于处理副产物的设备及用于确定收集器的更换期的方法

摘要

本公开涉及一种用于处理工艺副产物的设备以及一种用于使用所述设备确定收集器的更换期的方法，且更明确地说，涉及一种用于处理排放管线中的工艺副产物的设备以及一种用于使用所述设备确定收集器的更换期的方法。用于处理工艺副产物的所述设备包含收集器，收集器安装在工艺腔室与被配置成用于控制工艺腔室的压力的阀之间的排放管线上，以收集从工艺腔室排出的工艺副产物。收集器包含收集器外壳，其与排放管线连通；以及中空收集结构，其安装在收集器外壳中以收集工艺副产物且被配置成控制工艺副产物的流动路径。所述用于处理工艺副产物的设备能够有效地防止工艺副产物积聚在排放管线以及控制工艺腔室的压力的阀中。

主权项

一种用于处理工艺副产物的设备，其特征在于，所述设备包括收集器，所述收集器安装在工艺腔室与被配置成用于控制所述工艺腔室的压力的阀之间的排放管线上，以收集从所述工艺腔室排出的所述工艺副产物，其中所述收集器包括：收集器外壳，所述收集器外壳与所述排放管线连通；以及中空的收集结构，安装在所述收集器外壳中以收集所述工艺副产物，且被配置成控制所述工艺副产物的流动路径。