[发明专利]靶材固定装置及靶材固定方法有效
| 申请号： | 201710853430.1 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN107400862B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 易天华 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。本发明通过镜面层镜面吸附固定所述靶材的方式，可以实现更换所述靶材时，只需要将所述靶材从所述基板上拆除，进而增加了基板的使用寿命，同时节约时间，减少更换靶材所需成本。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，其特征在于，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。
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