[发明专利]一种基于纳米NiO/AlGaN异质结构的倒置式快速紫外光响应器件及制备方法

摘要

一种基于纳米NiO/AlGaN异质结构的倒置式快速紫外光响应器件，其基底层为蓝宝石衬底；纳米NiO/AlGaN异质结构层包括AlN高温缓冲层、AlGaN薄膜层、NiO籽晶层及纳米NiO片状结构层；透明接触电极层是具有0.1cm沟道并镀有ITO透明电极的玻璃基片层。并且该纳米NiO/AlGaN异质结构层中，异质结构为在n‑AlGaN薄膜表面生长的纳米NiO片状结构层。采用低压MOCVD方法生长，先在n‑AlGaN表面生长NiO籽晶层，然后生长NiO纳米片状结构层。最后将NiO纳米片状结构与透明电极的玻璃基片相贴合构建简单的紫外光响应器件。本发明的产品对紫外光有着非常好的光响应，制备不需要催化剂，生长温度低，重复性好，操作简单，制造成本低。

主权项

一种基于纳米NiO/AlGaN异质结构的倒置式快速紫外光响应器件，其特征在于:其包括蓝宝石基底层、纳米NiO/AlGaN异质结构层和透明电极层。