[发明专利]一种光刻机晶片吸盘有效
| 申请号： | 201710760586.5 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107422614B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李知存;陈跃东;范勤;王雄;聂明争;霍同乾;程俊 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 430080 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电加工工艺技术领域，公开了一种光刻机晶片吸盘，包括：基座以及设置在所述基座上的吸盘以及限位卡槽；所述限位卡槽设置在所述吸盘周围，用于将光刻机晶片限制在所述吸盘正上方。本发明提供一种光刻机晶片吸盘，该晶片吸盘即适用于光刻圆形晶片，又能够光刻矩形晶片，可以使矩形晶片的重心与晶片吸盘基座的中心重和，有效防止晶片吸盘移动过程造成矩形晶片的移动，减小了光刻误差，提高了掩膜图案转移到晶片上的复制度，同时该晶片吸盘可以放置一定尺寸范围的圆形晶片，且该晶片吸盘结构简单，操作便利，便于加工制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 晶片 吸盘 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机晶片吸盘，其特征在于，包括：基座以及设置在所述基座上的吸盘以及限位卡槽；所述限位卡槽设置在所述吸盘周围，用于将光刻机晶片限制在所述吸盘正上方；所述限位卡槽包括：定位柱以及限位挡板；所述定位柱固定在所述基座上；所述限位挡板可拆卸的固定在所述定位柱上；其中，所述限位挡板与所述定位柱开设可供晶片嵌入的水平卡槽；所述水平卡槽与所述吸盘平行。
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