[发明专利]利用自聚焦迭代算法消除物体与CCD间轴向距离误差的方法有效

专利信息
申请号: 201710754300.2 申请日: 2017-08-29
公开(公告)号: CN107655405B 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 马骏;张天宇;窦建泰;魏聪 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 32203 南京理工大学专利中心 代理人: 朱沉雁
地址: 210094 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种利用自聚焦迭代算法消除物体与CCD间轴向距离误差的方法,步骤如下:根据菲涅尔衍射理论建立了轴向距离误差模型,通过复原物体振幅的清晰度测量计算出轴向距离。即在叠层成像过程中,使用菲涅耳衍射积分将重建的图像传播到轴向距离不同的平面并计算每一平面处的Tamura系数即为清晰度评价指标,Tamura系数为极大值点时产生最清晰的复原图像。将该处对应的轴向距离用作下一次迭代的新轴向距离,重复该过程直到轴向距离收敛,进而得到准确的轴向距离。本发明对于叠层成像过程中轴向距离误差纠正结果好,运算速度快,图像复原分辨率高。可运用于生物显微、光学测试等领域。
搜索关键词: 利用 自聚焦 算法 消除 物体 ccd 轴向 距离 误差 方法
【主权项】:
1.一种利用自聚焦迭代算法消除物体与CCD间轴向距离误差的方法,其特征在于,包括以下步骤:/n步骤一、构建叠层成像光路模型:/n共光轴依次设置氦氖激光器、可变光阑(1)、透镜(2)、待测物(3)和CCD(4),氦氖激光器发出的激光经扩束准直后由可变光阑(1)调节光斑大小,经可变光阑(1)后的光由透镜(2)汇聚成发散球面波,即照明光,照射到待测物(3)表面,待测物(3)由夹持器与转接件固定在二维电动位移台上,通过二维电动位移台实现待测物重叠扫描位移;透射过待测物(3)的光场经过衍射传输后形成相干衍射图,CCD(4)被固定在待测物(3)后方接收衍射图;/n步骤二、对照明光函数P
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