[发明专利]一种小型硅蓝宝石压差传感器

摘要

本发明涉及一种小型硅蓝宝石压差传感器，用于液压或气压的压力压差测量，其中，敏感芯体的顶部加工出金属膜片，金属膜片上设置硅蓝宝石芯片，金属膜片和硅蓝宝石芯片高温烧结为一体并通过转接板和第一导线与电路板相连，敏感芯体整体置于基座内，敏感芯体上段为螺纹段，与基座螺纹连接，敏感芯体下段为密封段，与基座密封连接。本发明的小型硅蓝宝石压差传感器不仅避免了目前油封式硅压阻压差传感器中硅油泄露带来的隐患，还具有小型化、精度高、抗干扰能力强、可靠性高、环境适应性强的特点。

主权项

一种小型硅蓝宝石压差传感器，包括壳体、电路板、转接板、敏感芯体、密封圈、保护盖、螺柱、硅蓝宝石芯片、基座，基座是壳体的一部分，其特征在于：敏感芯体的顶部加工出金属膜片，金属膜片上设置硅蓝宝石芯片，金属膜片和硅蓝宝石芯片高温烧结为一体并通过转接板和第一导线与电路板相连，敏感芯体整体置于基座内，敏感芯体上段为螺纹段，与基座螺纹连接，敏感芯体下段为密封段，与基座密封连接，基座上端面设置敏感芯体的保护盖，电路板通过螺柱支撑在基座上部，并通过第二导线连接至插座；基座、保护盖、第一导线、螺柱、第二导线均置于壳体内，插座伸出壳体。