[发明专利]抽真空系统及其使用方法、真空精炼系统

摘要

本发明涉及一种抽真空系统、采用该抽真空系统的真空精炼系统以及该抽真空系统的使用方法，该抽真空系统包括通过抽气管道依次串接的蒸汽喷射泵组件和液环泵，蒸汽喷射泵组件包括沿抽气方向依次串接的至少一级蒸汽喷射泵，还配置有至少一个用于防止蒸汽喷射泵产生拉瓦尔喷嘴效应的辅助抽气管，每一辅助抽气管旁接于对应的蒸汽喷射泵与前一级蒸汽喷射泵之间的抽气管道上且其出口端与液环泵连通，各辅助抽气管上均设有控制阀。本实施例提供的抽真空系统，由于采用辅助抽气管，对进入对应的蒸汽喷射泵内的气流进行分流，可有效防止该蒸汽喷射泵产生拉瓦尔喷嘴效应。

主权项

1.一种抽真空系统的使用方法，所述抽真空系统包括真空室和与所述真空室抽气口连通的抽真空子系统，所述抽真空子系统包括通过抽气管道依次串接的蒸汽喷射泵组件、液环泵，所述蒸汽喷射泵组件包括沿抽气方向依次串接的至少一级蒸汽喷射泵以及至少一个用于防止蒸汽喷射泵产生拉瓦尔喷嘴效应的辅助抽气管，各所述辅助抽气管上均设有第一控制阀；每一所述辅助抽气管旁接于对应的所述蒸汽喷射泵与前一级蒸汽喷射泵之间的抽气管道上，每一所述辅助抽气管的出口端连接于对应的所述蒸汽喷射泵与后一级抽气泵之间的抽气管道上，且其出口端与对应的所述蒸汽喷射泵之间的抽气管道上设有第二控制阀；其特征在于，所述方法包括：在预抽阶段，各所述蒸汽喷射泵待机且作为气体通道，各所述第一控制阀开启，所述液环泵运行，抽取被抽容器中的原始气体；当蒸汽喷射泵出现或可能出现拉瓦尔喷嘴效应时，通过开启对应的第一控制阀对该蒸汽喷射泵之前的气流进行分流；当开启辅助抽气管仍难防止该蒸汽喷射泵产生拉瓦尔喷嘴效应时，通过关闭对应的第二控制阀或者增大该第二控制阀的开度；当被抽容器中产生气体时，各所述第一控制阀均关闭，各所述蒸汽喷射泵及所述液环泵均运行；当被抽容器中停止产生气体时，各所述第一控制阀均关闭，各所述蒸汽喷射泵按前后级顺序依次停止运行，再停止运行所述液环泵。