[发明专利]矽衍生化合物喷丝头的制备方法及喷丝头

摘要

本发明提供一种矽衍生化合物喷丝头的制备方法及喷丝头，根据预设图形，以矽材料制作喷丝头本体，喷丝头本体具有至少一个喷丝孔；在喷丝头本体整体或局部结构上从外到内衍生出矽的衍生化合物，衍生化合物用于在喷丝头本体整体或局部结构上衍生形成陶瓷、氧化矽功能层；对包括衍生化合物的的喷丝头本体进行宝石或金刚石层修饰，在喷丝头本体表面形成宝石层。本发明采用的以矽材料为整体基础原胚，制备矽衍生化合物喷丝头和宝石喷丝头，其完美整合了氧化矽、陶瓷、宝石表面修饰工艺，解决了现有喷丝头制造工艺中修饰层和基底层热失配现象，以及多层制造时的分层现象；并且使制备的喷丝头具有耐酸、耐碱、耐磨、耐高温特性，易于批量生产。

主权项

1.一种矽衍生化合物喷丝头的制备方法，其特征在于，包括：根据预设的图形，以矽材料制作喷丝头本体，所述喷丝头本体具有至少一个喷丝孔；在所述喷丝头本体的整体或者局部结构上从外到内衍生出矽的衍生化合物，所述衍生化合物用于在所述喷丝头本体的整体或者局部结构上衍生形成陶瓷、氧化矽功能层；对包括衍生化合物的喷丝头本体进行宝石或金刚石层修饰，在所述喷丝头本体的表面形成宝石层；其中：所述根据预设的图形，以矽材料制作喷丝头本体，包括采用集成电路芯片制造工艺制作喷丝头本体或采用模具浇注工艺制作喷丝头本体；‑所述采用集成电路芯片制造工艺制作喷丝头本体，具体的：根据预设图形制作掩膜板，所述掩膜板的镂空区域对应所述喷丝头本体的形状和/或喷丝孔的形状；将掩膜板先后覆盖在矽材料基底的正反两面上，并对准正反面的图形，先后在矽材料基底的正反两面形成均匀的光刻胶层；对矽材料基底的正面和/或背面进行紫外曝光，并显影出预设的图形；采用物理和/或化学刻蚀方式，根据所述预设的图形在矽材料基底的正面和/或背面上刻蚀出喷丝头本体的三维结构；‑所述采用模具浇注工艺制作喷丝头本体，具体的：利用导电材料制作喷丝头本体的模具；在所述模具中对应喷丝孔电极的位置开设电极孔；将预设形状的电极插入所述电极孔中；在所述模具内注入矽的微晶粉末，盖上设有电极固定孔和高温绝缘垫片的模具上盖板；对模具进行加温处理，以使矽的微晶粉末熔融为一体；冷却固化后取出喷丝头本体，在所述喷丝头本体中通入氧气来烧蚀电极或者通过大电流烧蚀电极，得到预设形状的喷丝孔。