[发明专利]一种微粒检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201710656938.2 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107328694A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00;G01N15/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微粒检测装置及其检测方法，通过样品采集单元提供包含待测微粒的气体；并将激光器发出的激光束经光路调整器调制后传输至样品采集单元提供的微粒，且控制激光束经微粒反射后再次经光路调整器调制后传输至形貌检测单元；然后由形貌检测单元根据接收到的激光束，获取微粒的形貌，并反馈至确定单元；最终通过确定单元将形貌检测单元反馈的微粒的形貌与预设数据库中存储的形貌进行对比，并输出对比结果。可见，在本发明实施例中是通过直接检测气体中包含的微粒的形貌，避免了现有技术中采用电子显微镜检测微粒形貌过程中各种不利因素的干扰，在一定程度上提高了获取的微粒形貌的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微粒 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种微粒检测装置，其特征在于，包括：样品采集单元，光学单元，形貌检测单元，以及确定单元；其中，所述样品采集单元，包括：气体采集结构和给气泵；所述气体采集结构和所述给气泵协同提供包含待测微粒的气体；所述光学单元，包括：激光器和光路调整器；所述激光器发出的激光束经所述光路调整器调制后传输至所述样品采集单元提供的所述微粒，并经所述微粒反射后再次经所述光路调整器调制后传输至所述形貌检测单元；所述形貌检测单元，用于根据接收到的所述激光束，获取所述微粒的形貌，并反馈至确定单元；所述确定单元，用于将所述形貌检测单元反馈的所述微粒的形貌与预设数据库中存储的形貌进行对比，并输出对比结果。
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