[发明专利]用于低温透射测温的探测器有效
| 申请号： | 201710625449.0 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108955889B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 塞缪尔·C·豪厄尔斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种处理基板的装置和方法包括：探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；和光谱多陷波滤波器。处理基板的装置和方法包括：探测来自腔室主体中的基板的发射表面的透射辐射；将所探测的辐射的至少一个光谱带传递至光探测器；以及分析在至少一个光谱带中的所探测的辐射以确定基板的推断温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 低温 透射 测温 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种透射测温探测器，包括：探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；以及光谱多陷波滤波器。
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