[发明专利]建立平均材料去除速率预测模型的方法及预测速率的方法

摘要

本发明公开了一种建立平均材料去除速率预测模型的方法及预测速率的方法，对传感器采集被加工材料工件样本的信号数据依次进行特征提取、特征选择，再经由多模型加权方法进行平均材料去除速率预测模型的建立，最后对新的被加工材料工件样本进行平均材料去除率的预测。本发明平均材料去除速率预测模型的方法实现对被加工材料工件的抛光加工时间的精确估计，减少抛光加工过程中存在的欠抛光和过抛光现象，提升抛光质量与加工良品率，从而提高经济效益。

主权项

1.一种建立化学机械抛光机的平均材料去除速率预测模型的方法，其特征在于，该方法包括：数据采集步骤A，由传感器采集被加工材料工件样本在不同抛光加工工况下的信号数据；数据预处理步骤B，去除采集的传感器信号数据中的噪声和异常值；特征提取步骤C，提取预处理后传感器信号数据的特征，将提取出的特征进行组合或变换生成模型参数训练数据集合；特征选取步骤D，从模型参数训练数据集合中选取出优化特征；模型建立步骤E，对选取出的优化特征采用多种模型进行回归处理，得到每种模型对应的回归模型函数；将多个回归模型函数进行加权处理得到平均材料去除速率预测模型函数，经由平均材料去除速率预测模型函数得到的输出目标值即为平均材料去除速率预测值。