[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法

摘要

本发明提供一种MEMS麦克风及其形成方法，其中方法包括：提供基底，基底包括相对的第一面和第二面，基底包括功能区和包围功能区的支撑区；在功能区基底第一面上形成背极膜，背极膜包括位于表面的第一背极膜，背极膜中具有背极孔，背极孔贯穿所述背极膜，背极孔中具有孔塞；在支撑区基底第一面上形成背极载膜，背极载膜与所述背极膜连接；在第一背极膜表面和所述孔塞上形成停止层，停止层的材料与所述第一背极膜的材料不相同；在停止层上形成阻挡层；对阻挡层进行第一图形化处理，形成阻挡件，阻挡件暴露出所述孔塞。停止层能够对所述第一图形化处理过程进行控制，减小第一背极膜的损耗，从而能够精确控制第一背极膜的厚度。

主权项

1.一种MEMS麦克风的形成方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底包括相对的第一面和第二面，所述基底包括功能区和包围所述功能区的支撑区；在所述功能区基底第一面上形成背极膜，所述背极膜包括位于表面的第一背极膜，所述背极膜中具有背极孔，所述背极孔贯穿所述背极膜，所述背极孔中具有孔塞；在所述支撑区基底第一面上形成背极载膜，所述背极载膜与所述背极膜连接；在所述第一背极膜和所述孔塞上形成停止层，所述停止层的材料与所述第一背极膜的材料不相同；在所述停止层上形成阻挡层；对所述阻挡层进行第一图形化处理，形成阻挡件，所述阻挡件暴露出所述孔塞；形成所述阻挡件之后，在所述背极膜上形成振片膜，所述功能区振片膜与所述第一背极膜之间具有间隙，所述阻挡件位于所述间隙中。