[发明专利]一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法

摘要

一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法，它包括a）选取优质的聚酰亚胺薄膜作为铜铟镓硒太阳能电池的衬底，用化学水浴法将聚酰亚胺薄膜表面清洗干净；b）采用多靶溅射方法，首先在聚酰亚胺薄膜的正面溅射至少一层疏松的钼层，然后在疏松的钼层上再溅射至少一层致密的钼层；其次在背面以同样方式溅射一层平衡正面钼层应力的镀层；多靶溅射至少包括3个溅射靶机，其中第一溅射靶机在聚酰亚胺薄膜的正面溅射疏松的钼层，第二溅射靶机在聚酰亚胺薄膜的背面溅射一层钼层，第三溅射靶机在正面疏松的钼层上面再溅射一层致密的钼层；它具有方法简单可靠，能防止聚酰亚胺柔性衬底产生卷曲的现象以及能防止铜铟镓硒柔性薄膜太阳能电池脱落及卷曲等特点。

主权项

一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法，其特征在于所述的钼层制备方法包括如下步骤：a）选取优质的聚酰亚胺薄膜作为铜铟镓硒太阳能电池的衬底，用化学水浴法将聚酰亚胺薄膜表面清洗干净；b）采用多靶溅射方法：首先在聚酰亚胺薄膜的正面采用溅射靶机溅射至少一层疏松的钼层，然后在所述疏松的钼层基础上再采用溅射靶机溅射至少一层致密的钼层；其次在背面以同样方式用溅射靶机溅射有至少一层平衡正面钼层应力的镀层，该背面镀层选用与正面应力相当的金属或金属氧化物。