[发明专利]减压干燥设备及减压干燥方法有效
| 申请号： | 201710587816.2 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107315325B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 龚成波 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种减压干燥设备及减压干燥方法。该设备包括：工作腔、工作台、抽气孔、进气孔、以及进气孔阀门，所述工作台设于所述工作腔内，所述工作台的四角分别设有一抽气孔，对应每一个抽气孔均设有至少一个与该抽气孔相邻的进气孔，每一个进气孔上均设有一进气孔阀门，通过在所述抽气孔抽气的同时由所述进气孔在所述抽气孔的周边通入保护气，减少所述抽气孔从基板的边缘抽离挥发后的光刻胶溶剂的速度，从而提升光刻胶溶剂挥发的均一性，避免因光刻胶溶剂挥发不均匀影响显影制程的线宽，保证显影制程的线宽的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥设备 干燥 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减压干燥设备，其特征在于，包括：工作腔(10)、工作台(21)、抽气孔(30)、进气孔(40)、以及进气孔阀门(50)；所述工作台(21)设于所述工作腔(10)内，所述工作台(21)的四角分别设有一抽气孔(30)，对应每一个抽气孔(30)均设有至少一个与该抽气孔(30)相邻的进气孔(40)，每一个进气孔(40)上均设有一进气孔阀门(50)；所述工作台(21)用于放置待干燥的基板(20)，所述抽气孔(30)所在的平面高于所述工作台(21)的上表面且低于所述基板(20)的上表面；所述抽气孔(30)用于对所述工作腔(10)进行抽气降压，所述进气孔(40)用于向所述工作腔(10)通入保护气，所述进气孔阀门(50)用于控制各个进气孔(40)的进气流量。
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