[发明专利]类金刚石薄膜有效
申请号: | 201710582567.8 | 申请日: | 2017-07-17 |
公开(公告)号: | CN107287571B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 田梦军 | 申请(专利权)人: | 维达力实业(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C16/26;C23C28/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 向薇 |
地址: | 518129 广东省深圳市龙岗区坂田街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种类金刚石薄膜。该类金刚石薄膜包括:沉积于基材之上的金属打底层;沉积于所述金属打底层之上的金属碳化物过渡层;沉积于所述金属碳化物过渡层之上的第一类金刚石层,该第一类金刚石层为功能性类金刚石层;沉积于所述第一类金刚石层之上的第二类金刚石层,该第二类金刚石层为颜色控制类金刚石层。该类金刚石薄膜层间结合力强,具有高硬度、高光洁度、低摩擦系数、耐腐蚀等优点,且具有深色色系外观,特别适用于对颜色外观及可靠性能要求都非常苛刻的装饰镀领域。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 薄膜 | ||
【主权项】:
1.一种类金刚石薄膜,其特征在于,包括:沉积于基材之上的金属打底层;沉积于所述金属打底层之上的金属碳化物过渡层;沉积于所述金属碳化物过渡层之上的第一类金刚石层,该第一类金刚石层为含氢类金刚石层,所述第一类金刚石层的厚度为1~6μm;沉积于所述第一类金刚石层之上的第二类金刚石层,该第二类金刚石层为含氢类金刚石层,所述第二类金刚石层的厚度为0.05~0.5μm,其折射率小于第一类金刚石层,所述第一类金刚石层的折射率介于1.9~2.5之间,所述第二类金刚石层的折射率介于1.7~2.2之间;所述金属碳化物过渡层中C含量为2%~50%,且由所述金属打底层向所述第一类金刚石层方向逐渐递增。
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