[发明专利]一种高致密度高纯度溅射旋转银靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种旋转银靶材的冷喷涂制备方法。首先将不锈钢按照客户要求加工好，然后用棕刚玉进行喷砂粗化。再用碳化钨合金制作的拉法尔喷管对银粉进行喷涂，碳化钨喷管结构如图1，银粉为球形粉末，粒度为30‑60微米，氮气气压为2‑3MPa，氦气加热温度为300‑400℃，送粉转速为6rpm。通过拉法尔喷管对粒子进行加速，将粒子速度提高到800‑1000m/s。采用本发明冷喷涂制备银靶材，具有工艺简单和组织致密的优点，靶材相对密度可以达到99.9％以上，靶材内部晶粒组织均匀细小，无缺陷组织，且沉积效率高于99％。

主权项

一种旋转银靶材冷喷涂制备方法，其特征在于，步骤为：(1)不锈钢背管制备：下料：用锯床锯取指定长度的304不锈钢管，钢管的内径为125mm，外径为133mm；车管：将不锈钢管两端按产品图纸分别车出凹槽、斜角；表面喷砂粗化：再将不锈钢管通过喷砂机将其表面喷砂处理；所述喷砂材料为80目粒径的棕刚玉，喷砂角度为30‑45度，空压机压力为0.8MPa，粗化后不锈钢粗糙度(Ry)控制在60‑100微米；(2)银涂层制备：烘干：将银粉末置于80℃烘干炉中烘干，时间为2‑3小时；冷喷涂：将烘干后的银粉末添加到送粉器中，由送粉器将粉末均匀的送入到拉法尔喷管中，利用压缩氦气作为加速介质，带动Ag粉在固态下以800‑1000m/s以上的速度碰撞不锈钢背管，Ag粉颗粒发生强烈的塑性变形而沉积形成致密涂层；机械加工：待冷喷涂所得靶材到达客户所定尺寸后，对成型的旋转靶材表面用车床按照客户要求加工，加工完毕后再进行清洗、烘干即可。