[发明专利]光罩修补装置、光罩修补方法及光罩修补液

摘要

本发明提供一种光罩修补装置，光罩修补方法及光罩修补液。所述光罩修补装置用于修补带有孔洞的光罩，所述光罩修补装置包括：修补液存储器、导管、电磁装置，所述修补液存储器用于存储光罩修补液，其中，所述光罩修补液包括电磁材料，所述电磁材料具有磁性且吸收紫外光，所述导管的一端连接所述修补液存储器，另一端开口，用于将所述修补液存储器中存储的光罩修补液导出，所述电磁装置用于提供高频交变电磁场，所述高频交变电磁场为高频电磁场且为交变电磁场，所述光罩修补液中的电磁材料在所述高频交变电磁场的作用下震荡运动，从而降低所述光罩修补液的粘度，以便所述光罩修补液从所述导管中流出。