[发明专利]管式PERC太阳能电池的修复工艺及制备工艺

摘要

本发明公开了一种管式PERC太阳能电池的修复工艺，修复工艺设置在硅片退火之后，硅片背面镀膜之前，包括：(1)将退火后镀膜前停留时间超过4小时的半成品硅片置入修复炉，通入流量为5‑10slm的氮气实现自洁，氮气的通入时间为1‑5min；(2)通入流量为5‑20slm的氮气，用于吹扫硅片上的灰尘；(3)将修复炉从室温升温到500‑650℃，同时通入流量为1‑5slm的氮气；(4)将修复炉在500‑650℃恒温5‑30min，同时通入流量为5‑20slm的氮气。相应的，本发明还公开了一种管式PERC太阳能电池的制备工艺。采用本发明，解决半成品停留时间过长带来的效率下降问题，并提高EL良率。

主权项

1.一种管式PERC太阳能电池的修复工艺，其特征在于，所述修复工艺设置在硅片退火之后，硅片背面镀膜之前，所述修复工艺包括：(1)将扩散、刻蚀、退火后，镀膜前停留时间超过4小时的半成品硅片置入修复炉，所述修复炉包括炉外腔,旋转内腔和中心固定机构，中心固定机构上设置有红外灯和喷气管，旋转内腔上设置有放置硅片的卡槽和连通炉外腔的通孔，所述喷气管通入流量为5‑10slm的氮气实现自洁，所述氮气的通入时间为1‑5min；(2)通入流量为5‑20slm的氮气，用于吹扫硅片上的灰尘；(3)将修复炉从室温升温到500‑650℃，升温时间为5‑20min，同时通入流量为1‑5slm的氮气；(4)将修复炉在500‑650℃恒温5‑30min，同时通入流量为5‑20slm的氮气。