[发明专利]抗噪声的立体扫描系统有效
申请号: | 201710463556.8 | 申请日: | 2017-06-19 |
公开(公告)号: | CN107782253B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 蔡政廷;翁義龙 | 申请(专利权)人: | 致茂电子股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾桃园市龟*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种抗噪声的立体扫描系统,包含偏振平行线光源、远心影像撷取装置与第一偏振元件。偏振平行线光源提供偏振线光束至待测面。偏振线光束的扩散角度小于10度。远心影像撷取装置用以撷取待测面上的偏振线光束。第一偏振元件置于远心影像撷取装置与待测面之间。偏振线光束的偏振态与第一偏振元件的偏振态实质正交。在上述实施方式中,立体扫描系统利用具有小扩散角度的偏振线光束、第一偏振元件与远心影像撷取装置的组合可消除待测物因表面结构不规则所造成的量测错误。 | ||
搜索关键词: | 噪声 立体 扫描 系统 | ||
【主权项】:
一种抗噪声的立体扫描系统,其特征在于,包含:一偏振平行线光源,提供一偏振线光束至一待测面,其中该偏振线光束的扩散角度小于10度;一远心影像撷取装置,用以撷取该待测面上的该偏振线光束;以及一第一偏振元件,置于该远心影像撷取装置与该待测面之间,其中该偏振线光束的该偏振态与该第一偏振元件的偏振态正交。
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