[发明专利]一种提高管路温度一致性的加热带及其设计方法有效
| 申请号： | 201710448048.2 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN109089335B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张芳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05B1/02 | 分类号： | H05B1/02;H05B3/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高管路温度一致性的加热带及其设计方法，加热带由位于管路中间的中间加热带、位于管路两端的第一加热带、第二加热带组成，第一、第二加热带加热层的功率密度与中间加热带的加热层的功率密度不同；设计方法包括：根据管路总长、散热及管路两端连接的终端器件的热损耗，计算得到第一加热带、第二加热带以及中间加热带长度；根据加热带长度，计算得到各段加热带的加热功率；根据加热功率，计算得到各段加热带的功率密度。本发明通过使加热带在管路的中间位置与两端位置具有不同的功率密度，从而产生不同的热量，可以大大提高管路加热温度的一致性，减少反应源在温度低点的冷凝，改善工艺效果，提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 管路 温度 一致性 热带 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高管路温度一致性的加热带，所述加热带包括内层的加热层及外层的保温层，其特征在于，所述加热带由位于管路中间的中间加热带、位于管路两端的第一加热带、第二加热带三段加热带组成，且所述第一加热带和所述第二加热带的加热层的功率密度与所述中间加热带的加热层的功率密度不同。
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