[发明专利]基于实际光学系统装调检测光路的计算机辅助装调方法

摘要

本发明涉及一种基于实际光学系统装调检测光路的计算机辅助装调方法，属于光学系统技术领域。本发明按照实际装调检测光路在光学设计软件中建模，从干涉仪光点或平行光束开始进行光路设置，并根据装调检测时光学系统光路的走向得到与实际检测光路相同的光学元件布局，实现光学元件失调时所对应的旋转点与工程实际中的旋转点相一致，并通过灵敏度矩阵的方法计算光学系统失调量，直接使用装调检测过程中干涉仪实际检测得到的波像差结果而不进行坐标变换，解算出的失调量可直接对应实际光学元件安装和调整机构对应的调整量而不必再进行基准过度，提高了计算机辅助装调的准确性和实用性，同时提高了计算机辅助装调光学系统的效率。

主权项

1.一种基于实际光学系统装调检测光路的计算机辅助装调方法，其特征在于，该装调方法包括以下步骤：1)根据光学系统特点和光机结构形式选择光学系统装调检测光路相对设计文件的旋转角度；2)根据光学元件结构尺寸和重量，选择光学系统中基准元件和需调整元件的自由度，并设计调整基准原件的固定形式和需调整元件自由度的调整机构；3)按照选择的光学系统装调检测光路所处方位和各需调整元件调整机构的定量特点，通过光学设计软件中坐标变换实现与装调检测光路一致的双向光路模型；4)按照需调整自由度的调整机构形式分析各自由度对系统检测结果的灵敏度，并按照失调形式建立灵敏度矩阵M；5)对灵敏度矩阵进行条件数分析，根据分析结果对灵敏度矩阵中的自由度进行分组，确定调整次序和组合；6)搭建自准直干涉检测光路，检测实际检测系统的多视场波像差；7)根据检测结果判断多视场波像差决定的系统像质是否满足要求，并在满足要求时结束装调。